半導体グレードの単結晶炉は、単結晶シリコン産業チェーンにおける重要な結晶成長装置です。 現在、チョクラルスキー法は単結晶の品質が高く、直径が大きく、低コストで生産効率が高いという利点があり、常に半導体シリコン基板の製造方法として主流となっている。
ハンマーは、材料の耐熱性が必要な高温炉で使用されるため、通常はタングステンとモリブデンの材料で作られています。 主にモリブデンシードホルダーとタングステンワイヤーロープを接続するために使用され、サスペンションクランプまたはジャンパーの下部に吊り下げられ、クランプの垂直荷重を増加させます。 その同心度はシードホルダーと同じである必要があり、公差は非常に厳密です。
ハンマーの純度は約 99.95%、公差約 0.02 mm の同心度はモリブデン種結晶チャックと同じです。 ハンマーはご要望に応じてカスタマイズできます。